大型臭氧發生器在產生臭氧的時候，會產生熱量，讓機器內部的溫度升高。而較高的溫度會把臭氧分解，會讓臭氧還原成氧氣，并降低臭氧的發生量。所以在生成臭氧的時候，一定要對發生器進行冷卻，這樣才可以穩定并提高臭氧的發生量。

  臭氧發生器的冷卻方式有風冷、水冷兩種。工業臭氧發生器多為中大型的臭氧發生器，一般是用水冷方式進行冷卻。在設計跟使用發生器的時候，一定遵循相關的規則，這樣才會獲得高產量的臭氧，才可以確保發生器的正常運行。

   冷卻水的水質要求是比較嚴格的。要求渾濁度≤1度（NTU），壓力0.2~0.4Mpa，溫度≤28℃，PH值6-9，氯離子峰值≤100mg/l。一般使用自來水或者循環冷卻水進行冷卻?，F場不具備循環冷卻水的，因用自來水使用量較大，造成不必要浪費，可以就地取材，使用處理過的中水通過板式換熱器對內循環冷卻水降溫，然后內循環冷卻水對臭氧發生器進行冷卻。內循環冷卻水一般使用蒸餾水。